特許

J-GLOBAL ID：200903066983382823

フッ素系ポリマー薄膜またはその傾斜薄膜

発明者： 田坂 明政 ,  小久見 善八
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-219167
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059318
出願日： 1995年08月28日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】【課題】 撥水撥油性、耐熱性、絶縁性、耐薬品性、耐候性などに優れたフッ素系ポリマーの薄膜およびその傾斜薄膜を提供する。【解決手段】フッ素系ポリマー薄膜またはフッ素系ポリマー傾斜薄膜を、ガス状のフッ素化剤と有機モノマーを反応器に導入し、またはガス状のフッ素化剤と有機モノマーの導入比を連続的に変化させながら反応器に導入し、または基板表面に有機モノマーによるプラズマ重合で接着成分の層を形成し、かつその外部側にガス状のフッ素化剤またはガス状のフッ素化剤と有機モノマーを反応器に導入し、またはガス状のフッ素化剤と有機モノマーの導入比を連続的に変化させながら反応器に導入しプラズマ重合を行うことにより基板上に形成する。

請求項（抜粋）：

ガス状のフッ素化剤と有機モノマーを反応器に導入しプラズマ重合を行うことにより基板上に形成したフッ素系ポリマー薄膜。

IPC (3件)：

C08F 10/00 MJG ,  C08F 2/00 MDY ,  C08F 8/18 MGS

FI (3件)：

C08F 10/00 MJG ,  C08F 2/00 MDY ,  C08F 8/18 MGS

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-117435
  
• 特開平2-216755
  
• 機能性有機高分子材料およびその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-060308   出願人：富士通株式会社