特許
J-GLOBAL ID：200903066984229255
赤外域用光学膜および光学素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-141927
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334603
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 赤外線の波長3〜5μmと8〜12μmの両方の帯域に反射防止特性を有する反射防止膜と、赤外線を波長3〜5μmと8〜12μmの2つの波長帯域に分離するためのビームスプリッタ用光学膜とビームスプリッタ。【構成】 Ge、ZnS基板上に、Si、Ge、ZnS、ZnSe、金属酸化物、金属フッ化物から選ばれる材料で多層膜を構成することにより、赤外域の波長3〜5μmと8〜12μmの2つの帯域に対して反射防止特性を有する赤外域用反射防止膜が提供できる。また、ZnS基板上に、GeとZnSの交互層と、金属酸化物層、金属フッ化物層を組み合わせることにより、波長3〜5μmと8〜12μmの2つの帯域に分離するためのビームスプリッタ用の光学膜と、ビームスプリッタ素子が提供できる。
請求項（抜粋）：
Geからなる基板上に形成される赤外域用光学膜において、前記基板からの第1層目がZnS、第2層目がSiまたはGe、第3層目がZnS、第4層目が金属酸化物、第5層目が金属フッ化物であることを特徴とする赤外域用反射防止膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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