レーザ干渉計

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-052418
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256605
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】移動体の移動量を正確に測定する。【構成】レーザ光を発生するレーザ発振器1と、固定体7に固定された反射鏡4と、移動体8に固定された反射鏡3と、レーザ発振器1からのレーザ光を反射鏡3及び反射鏡4に分配するビームスプリッタ2等とを備え、反射鏡3及び反射鏡4からの各反射光を光検出器6に与え、移動体8の移動量を測定するレーザ干渉計において、固定体7側光路Brと移動体8側光路Bmとの差lDPに等しい長さの光透過性密閉管10を、固定体7側の反射鏡4の直前に配置し、光透過性密閉管10の内部を真空にし、この光透過性密閉管10を介して固定体7側の反射鏡4にレーザ光を照射するようにした。光透過性密閉管10の内部は屈折率一定であり、光透過性密閉管10を透過するレーザ光の波長は変化せず、光透過性密閉管10内の光路長が一定であるから、測長原点が変動しない。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生するレーザ発振器と、固定体に固定された第1の反射鏡と、移動体に固定された第2の反射鏡と、前記レーザ発振器からのレーザ光を前記第1及び第2の反射鏡に分配する光学系とを備え、前記第1及び第2の反射鏡からの各反射光を光検出器に与え、前記移動体の移動量を測定するレーザ干渉計において、前記第2の反射鏡が可動範囲端点にあるときに、固定体側光路と移動体側光路との光路差に等しい長さの光透過性密閉管を、前記第1及び第2の反射鏡のうち、入射光に対して後側に位置する反射鏡の直前に配設したことを特徴とするレーザ干渉計。

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