特許
J-GLOBAL ID：200903066992085335
ショートアーク型カドミウム希ガス放電ランプおよびこれを搭載した投影露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田原 寅之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-286219
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021980
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】210〜230nmの発光スペクトルの前後の不必要な発光を抑え、210〜230nmの発光スペクトルの高出力化を達成することができるショートアーク型カドミウム希ガス放電ランプ、および光学材料が劣化することなく、小型化が可能であって、微細なパターンを大きな焦点深度のもとで投影転写できる高性能な投影露光装置を提供する。【構成】発光管内に、キセノン、クリプトン、アルゴン、ネオンより選ばれた一種又は二種以上の希ガスと、定常点灯時における圧力が14〜200kPaとなる金属カドミウムを封入し、定常点灯時の放電電流をJ(A)、定常点灯時のカドミウムの圧力をP(k Pa)とした時に、J/Pが、0.13〜15の範囲で点灯する。また、この放電ランプを投影露光装置に搭載する。
請求項（抜粋）：
温度制御される発光管内に近接して対向配置される一対の電極を有し、この発光管内には、キセノン、クリプトン、アルゴン、ネオンより選ばれた一種又は二種以上の希ガスと、定常点灯時における圧力が14〜200kPaとなる金属カドミウムが封入されてなり、定常点灯時の放電電流をJ(A)、定常点灯時のカドミウムの圧力をP(k Pa)とする時、J/Pが、0.13〜15の範囲で点灯されることを特徴とするショートアーク型カドミウム希ガス放電ランプ。
IPC (3件)：
H01J 61/16
, G03F 7/20
, H01J 61/86
