特許
J-GLOBAL ID：200903066993307609
試料固定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180487
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001911
出願日： 1991年06月26日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 被観察試料を変化、破壊させることなくスキャニングプローブ顕微鏡直下に固定することが可能な試料固定装置を得る。【構成】 壁面の少なくとも一部がメンブレンによって構成された第1チャンバーの外部で第2チャンバーが前記メンブレンを気密に覆い、第1,第2チャンバーに圧力差を持たせることによって第1チャンバー内に置かれた被観察試料の表面一部を前記メンブレンに設けられたアパーチャ押圧固定する圧力調整手段を備える。
請求項（抜粋）：
壁面の一部が開口部を有するメンブレンによって構成された第1チャンバーと、該第1チャンバーの外部で前記メンブレン上を気密に覆う第2チャンバーと、前記第1チャンバー内に置かれた試料が、その表面の一部を前記メンブレンの開口部より前記第2チャンバー内に露呈するよう開口部に押圧固定されるように前記第1チャンバー内と前記第2チャンバー内とに圧力差をもたせる圧力調整手段と、前記第2チャンバー内に配置された試料を走査するための探針に対する前記メンブレンの開口部の位置を相対変位させる位置調整手段とを備えたことを特徴とする試料固定装置。
IPC (2件)：
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