特許
J-GLOBAL ID：200903066995287591
マスフローセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-313836
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146652
出願日： 1998年11月05日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】被測定流体の流れの乱流に起因するノイズ抑えてマスフローセンサの測定精度を高め、併せて汎用性を高める。【解決手段】チップ基板1の上に発熱抵抗体3,測温抵抗体4,5を流体の通流方向Pに並置形成してセンサチップ6を構成し、該センサチップを被測定流体の流路内に配置して流体の通流に伴う測温抵抗体の温度変化から流量を測定するマスフローセンサにおいて、前記センサチップと一体に、その主面側の測温抵抗体,発熱抵抗体に沿って被測定流体を層流状態に保って流す通流ガイド部12を組合せるものとし、その通流ガイド部は、センサチップの主面側を包囲してその基板に接合したトンネル状の仕切カバー12aを基体として、該基体にセンサチップ側の抵抗体形成領域を挟んでその前後に流体の流れ方向と平行に複数条の整流ブレード12b-1が並ぶた整流部12bを形成する。
請求項（抜粋）：
低伝熱性の基板上に発熱抵抗体,測温抵抗体を流体の通流方向に沿い並置形成してセンサチップを構成し、該センサチップを被測定流体の流路内に配置して流体の通流に伴う測温抵抗体の温度変化から流量を測定するマスフローセンサにおいて、前記センサチップと一体に、その主面側の測温抵抗体,発熱抵抗体に沿って被測定流体を層流状態で通流させる整流ガイド部材を組合せたことを特徴とするマスフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
2F035EA04
, 2F035EA08
, 2F035GA01
