感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148330
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338664
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】保存安定性に優れ、安定した感光特性が得られると共に良好な耐熱性を有し、感度が高く、パターン形状に優れる感光性樹脂組成物及び感光特性の変動を抑えることができ、解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法、信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(A)アルカリ水溶液可溶性重合体、(B)o-キノンジアジド化合物及び(C)酸性を示す化合物を含有してなる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いたパターンの製造法及び電子部品。(A)成分が、一般式(I)(式中、R1は4価の有機基を示し、R2はカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有する2価の有機基を示し、R3及びR4は各々独立に水素原子又は1価の有機基を示し、少なくとも一方は1価の有機基である)で示される繰り返し単位を有するポリアミド酸エステルである。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ水溶液可溶性重合体、(B)o-キノンジアジド化合物及び(C)酸性を示す化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 514 , C08L 79/06 , C08L 79/08 , C08L101/14 , G03F 7/022

FI (5件)：

G03F 7/027 514 , C08L 79/06 , C08L 79/08 Z , C08L101/14 , G03F 7/022

Fターム (33件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE02 , 2H025CB23 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB42 , 2H025CB45 , 2H025CB53 , 2H025CC20 , 2H025DA02 , 2H025DA14 , 2H025EA04 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM031 , 4J002CM041 , 4J002EF037 , 4J002EF047 , 4J002EF067 , 4J002EF077 , 4J002EJ017 , 4J002EQ036 , 4J002ES007 , 4J002EV216 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GQ05

引用特許：

審査官引用 (18件)

特開平3-011546
特開平3-011546
特開平3-115461

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