高周波誘導結合プラズマ発光分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-191538
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043304
出願日： 1993年08月03日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】ネブライザにおける霧化の状態を監視し、気泡の混入やネブライザ先端の目詰まりおよび高粘度試料の場合などに生じる霧化の異常を測定者が察知できる高周波誘導結合プラズマ発光分析装置を提供する。【構成】キャリアガス12の流れにより生じる負圧により吸引された溶液試料2が試料溶液導入用キャピラリ5の先端から噴射し霧化される。試料溶液2が霧化する際には特有の周波数特性をもち、その強度が霧化量とともに増大する音波が発生する。ネブライザ1にはマイクロホン6が霧化の際に発生する音波を検出できるように取り付けられ、前記音波の音響信号強度もデ-タ処理部19に取り込まれ、予め記憶された基準値と照合される。照合の結果、音響信号強度が基準値よりも小さくなった場合には、警告表示部21にネブライザ1における霧化状態に異常がある旨の表示がなされ、測定者が知ることができる。

請求項（抜粋）：

ネブライザによって霧化した試料溶液をスプレ-チャンバを介して高周波誘導結合プラズマに導き、該試料中に含有される元素の発光分析を行う高周波誘導結合プラズマ発光分析装置において、前記試料溶液が高周波誘導結合プラズマに導かれているか否かを監視する手段を設けたことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ発光分析装置。

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