特許

J-GLOBAL ID：200903067001290331

電気化学的蒸着装置

発明者： 蓮田 良紀 ,  松島 敏雄 ,  弓場 利恭
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230532
公開番号（公開出願番号）：特開平6-073546
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】本発明は、薄膜の組成を決定するにあたって、容易に一定組成の反応ガスが調整できる電気化学的蒸着装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は、多孔性基板の一方を酸素ガス雰囲気にし、もう一方の反対側を反応性ガス雰囲気にして、多孔性基板上に化学的蒸着及び電気化学的蒸着にて薄膜を形成させる電気化学的蒸着装置において、酸素ガスと反応させる複数の反応性物質の原料と希釈材としての不揮発性無機物質との混合物を反応炉に一定量供給する粉体供給部と、希釈材の無機物質を多孔性基板上部で補足し反応性物質のみをガス化する網状補足部を有する反応炉と、反応性ガスと酸素ガスの混合を防止するセラミックシール部と多孔性基板を支える形状を有する試料ホルダーと、多孔性基板を境に酸素ガス雰囲気と反応性ガス雰囲気の圧力差を一定に保持する差圧制御部とからなる。

請求項（抜粋）：

多孔性基板の一方を酸素ガス雰囲気にし、もう一方の反対側を反応性ガス雰囲気にして、多孔性基板上に化学的蒸着及び電気化学的蒸着にて薄膜を形成させる電気化学的蒸着装置において、酸素ガスと反応させる複数の反応性物質の原料と希釈材としての不揮発性無機物質との混合物を反応炉に一定量供給する粉体供給部と、希釈材の無機物質を多孔性基板上部で補足し反応性物質のみをガス化する網状補足部を有する反応炉と、反応性ガスと酸素ガスの混合を防止するセラミックシール部と多孔性基板を支える形状を有する試料ホルダーと、多孔性基板を境に酸素ガス雰囲気と反応性ガス雰囲気の圧力差を一定に保持する差圧制御部とからなることを特徴とする電気化学的蒸着装置。

IPC (5件)：

C23C 16/44 ,  C04B 41/87 ,  C23C 16/42 ,  H01B 1/08 ,  H01M 8/12