特許
J-GLOBAL ID:200903067014335288
超音波変換器アレーとその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
浅村 皓 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-517111
公開番号(公開出願番号):特表平8-506227
出願日: 1994年01月21日
公開日(公表日): 1996年07月02日
要約:
【要約】結像面内のアレー軸(A)に沿って整列された複数の変換器素子(12)を有する超音波変換器アレーとその製造方法。各変換器素子(12)は、圧電層(22)と一つ以上の音響整合層(24,26)を含む。この圧電層(22)は、前電極(42)で覆われた凹形前面と後電極(40)で覆われた後面を有する。各変換器素子(12)の形状は、その焦点を機械的にこの結像面に合せるように選ばれている。裏当て支持体(80)は、各素子(12)が機械的にこの結像面に焦点を合せるように、これらの複数の変換器素子(12)をこのアレー軸(A)に沿って所定の関係に保持する。
請求項(抜粋):
超音波変換器アレーの製造方法であって: 前電極で覆われた凹形の前面をもち、更に後電極で覆われた後面をもつ圧電基板を調製する工程; この圧電基板の凹形前面に、厚さがほぼ均一な音響整合層を付けて、中間組立体を作る工程; この中間組立体を柔軟な前キャリヤ板に貼付ける工程; この圧電基板の後面から、ほぼこの中間組立体のこの圧電層と音響整合層を通して、一連のほぼ平行な切れ目を切り、これらの切れ目が、アレー軸に沿って整列された一連の個々の変換器素子を形成する工程; このアレー軸にほぼ垂直な軸の周りに、これらの層を、この柔軟な前キャリヤ板の降伏バイアスに抗して曲げることによって、この平行に切った中間組立体を所望の形状に成形する工程; この中間組立体の圧電基板の後面に裏当て材料を付ける工程;および この前キャリヤ板を除去して、超音波変換器アレーを生ずる工程を含む方法。
IPC (3件):
H04R 17/00 332
, G01N 29/24 502
, H04R 17/00 330
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