特許

J-GLOBAL ID：200903067017098511

弾性表面波装置

発明者： 松田 敏哉
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-217035
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044787
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 周波数温度特性を補償し、高い生産性を有するとともに高性能で信頼性の高い弾性表面波装置を提供すること。【解決手段】 圧電基板1上にIDT電極2を配設するとともに、IDT電極2上に圧電基板1より線膨張係数が小さい絶縁性保護膜3、及び周波数調整膜4を順次積層して成る弾性表面波装置Sとする。

請求項（抜粋）：

圧電基板上にIDT電極を配設するとともに、該IDT電極上に前記圧電基板より線膨張係数が小さい絶縁性保護膜、及び周波数調整膜を順次積層して成る弾性表面波装置。

Fターム (16件)：

5J097AA13 ,  5J097AA21 ,  5J097AA32 ,  5J097BB11 ,  5J097CC02 ,  5J097DD29 ,  5J097EE10 ,  5J097GG03 ,  5J097GG05 ,  5J097HA03 ,  5J097HA07 ,  5J097HA08 ,  5J097HB04 ,  5J097HB08 ,  5J097KK05 ,  5J097KK09