特許

J-GLOBAL ID：200903067021970266

薬液処理装置およびこれを用いた薬液処理方法

発明者： 石丸 敏之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-310379
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161621
出願日： 1993年12月10日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 装置を大型化、複雑化することなく、2種類以上の薬液を吐出できる薬液処理装置を提供し、これを用いた効率的な薬液処理方法を提供する。【構成】 薬液処理装置のノズル5は、それぞれ流量が制御された第1の薬液と第2の薬液が導入される第1の薬液溜り20と第2の薬液溜り21、これらの下流側の混合室22、該混合室22から薬液を吐出する吐出口23を有する。【効果】 流量が制御された第1の薬液および第2の薬液をノズル5内の混合室22内に同時に導入すると、任意の濃度の混合薬液をウェハ3に吐出させることができる。また、第1の薬液と第2の薬液を時系列的にノズル5内に導入すると、用途に応じてウェハ3に対して吐出させる薬液を切り替えることができる。このため、開発段階における薬液処理の作業効率を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持手段と、この基板保持手段に保持された基板に向けて薬液を吐出するノズルとを備え、該基板に対して所定の薬液処理を行う薬液処理装置であって、前記ノズルは、複数種類の薬液をそれぞれ導入する複数の流路と、これら複数の流路の下流側に共通に接続され複数の薬液を混合する混合室とを内蔵し、該混合室の一端に開口する吐出口から薬液を吐出するようになされた薬液処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/16 501

FI (2件)：

H01L 21/30 569 C ,  H01L 21/30 569 F