特許
J-GLOBAL ID：200903067022197781
イオン源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069128
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237583
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 主プラズマのプラズマ密度を著しく高くして多量のイオンビームが引き出せるようにする。【解決手段】 主筐体11内に主プラズマ26を閉じ込める磁界を形成する手段として、主筐体11の側壁外周に、主筐体11の側壁に面した磁極がいずれも副筐体1の主筐体11に面した蓋板4の磁極と異なる複数の永久磁石28を配置し、主筐体11への電子及びプラズマの供給を増大する。
請求項（抜粋）：
電子放出用の副プラズマを生成する副筐体に主筐体を連結し、前記副プラズマと前記主筐体内に形成される主プラズマの電位差により、前記副筐体の前記主筐体側の蓋板に形成された電子放出孔から前記主筐体内に電子を供給し、直流放電により前記主プラズマを生成,維持し、前記主プラズマからイオンビームを引き出すイオン源装置において、前記主筐体内に前記主プラズマを閉じ込める磁界を形成する手段として、前記主筐体の側壁外周に、前記主筐体の側壁に面した磁極がいずれも前記副筐体の前記主筐体に面した前記蓋板の磁極と異なる複数の永久磁石又は電磁コイルを配置したことを特徴とするイオン源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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