特許
J-GLOBAL ID：200903067035045336
オートフォーカス装置の合焦点捜査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永田 武三郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-223814
公開番号（公開出願番号）：特開平6-178188
出願日： 1993年08月17日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 オートフォーカス装置を用いた測定装置において、被測定試料のロット内のデータからロットの分散を推定し、このロットのスキャン範囲を狭くして、合焦時間を短くすることである。【構成】 オートフォーカス装置を起動してロット内の所定数の合焦データをメモリする(ステップST10〜ST14)。上記データを統計的に処理しロット内の分散を推定し(ステップST15)、スキャン範囲を設定する(ステップST16)。上記範囲に基づいてオートフォーカスが行なわれる。
請求項（抜粋）：
画像入力装置により試料の画像信号を入力し、所定のスキャン範囲を移動するオートフォーカス装置により、上記入力された画像信号に基づき上記画像入力装置を上記試料に合焦させるに際し、上記試料のロット内の上記合焦された試料の画像信号からそのロット内の分散を推定し、この推定した分散から上記オートフォーカス装置によるロットの上記所定のスキャン範囲を設定することを特徴とするオートフォーカス装置の合焦点捜査方法。
IPC (4件)：
H04N 5/232
, G01B 11/00
, G01C 3/06
, G02B 7/28
