特許
J-GLOBAL ID：200903067037419411
試料ホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014628
公開番号（公開出願番号）：特開2000-215837
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 試料を大気に曝すことのない試料ホルダの提供【解決手段】 内側にホルダ軸通過孔2aが形成されたホルダ筒2と前記ホルダ軸通過孔2aと連通する気密室Aが形成され気密室形成部材3とを有するホルダ軸支持ケース1と、試料保持部9bが試料Sの観察時に前記ホルダ筒2の前端から突出する前端位置と前記試料保持部9bが前記気密室A内に配置される後端位置との間で移動可能なホルダ軸9と、前記試料保持部9bが前記後端位置に移動したときに前記ホルダ軸9と一体的に回転可能な回転部材7と、前記回転部材7と連動して、前記ホルダ軸通過孔2a内と前記気密室A内とを気密に遮断する遮断位置と前記試料保持部9bの移動に障害とならない退避位置との間で回動する開閉弁14と、流体流入排出用配管18が連結される配管連結部材17とから構成される試料ホルダH。
請求項（抜粋）：
下記の要件を備えた試料ホルダ、(A01)内側にホルダ軸通過孔が形成された前後に延びるホルダ筒と、前記ホルダ筒の後端部に設けられて内側に前記ホルダ軸通過孔と連通する気密室が形成され且つ前記ホルダ軸通過孔と同軸のホルダ軸貫通孔が後端部に設けられた気密室形成部材とを有するホルダ軸支持ケース、(A02)前端部に設けられた試料保持部と後端部に設けられた操作部とを有し、中間部が円筒状外側面を有するホルダ軸であって、前記中間部が前記ホルダ軸貫通孔を貫通し、前記操作部が前記気密室の外部に配置されるとともに、前記ホルダ筒の中心軸線であるホルダ軸線に沿って前記試料保持部が試料の観察時に前記ホルダ筒の前端から突出する前端位置と前記試料保持部が前記気密室内に配置される後端位置との間で移動可能な前記ホルダ軸、(A03)前記ホルダ軸貫通孔内に気密に且つ回転可能に支持されて前記ホルダ軸貫通孔と同軸のホルダ軸支持孔が形成された回転部材であって、前記ホルダ軸中間部を前記ホルダ軸支持孔により気密でスライド可能且つ回転可能に支持し、前記ホルダ軸の試料保持部が前記後端位置に移動したときに前記ホルダ軸と一体的に回転可能な前記回転部材、(A04)前記回転部材と連動して、前記ホルダ軸線上に移動し前記ホルダ軸通過孔内と前記気密室内とを気密に遮断する遮断位置と、前記ホルダ軸線上から前記試料保持部の移動に障害とならない退避位置との間で回動する開閉弁、(A05)前記気密室内への流体の流入または排出を行うための流体流入排出用配管が連結される配管連結部材。
Fターム (6件)：
5C001AA01
, 5C001AA03
, 5C001AA05
, 5C001BB06
, 5C001CC03
, 5C001DD01
