特許

J-GLOBAL ID：200903067041611203

リーク量測定装置

発明者： 小川 長桓
出願人/特許権者： 小川技研株式会社 ,  トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-103179
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293076
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で正確にリーク量を測定するリーク量測定装置を提供することを課題とする。【解決手段】 マスタチャンバと取付具に取付けられた検査物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置において、前記取付具に接続される真空状態のタンクと、前記検査物の排気開始時に前記タンクと接続して急激に検査物内の空気を排気した後、排気手段によって検査物の排気を行わせる制御手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

マスタチャンバと取付具に取付けられた検査物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置において、前記取付具に接続された真空状態のタンクと、前記検査物の排気開始時に前記タンクと接続して急激に検査物内の空気を排気した後、排気手段によって検査物の排気を行わせる制御手段と、を備えたことを特徴とするリーク量測定装置。