特許

J-GLOBAL ID：200903067044742406

静電気対策用吹出口

発明者： 水野 彰 ,  杉田 章夫 ,  鈴木 政典 ,  和泉 貴晴 ,  石川 昌義 ,  鋒 治幸
出願人/特許権者： 株式会社テクノ菱和 ,  浜松ホトニクス株式会社 ,  原田産業株式会社
代理人 (1件)： 木内 光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-066680
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257096
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 オゾンや電磁ノイズの発生及び発塵等をなくし、設置箇所の周囲を遮蔽構造とする必要がなく、設置が容易な静電気対策用吹出口を提供する。【解決手段】 円柱状あるいは角柱状に形成された吹出口1の上流側に、チャンバ2及びダクト3を接続し、吹出口1の出口部近傍に遮蔽部4を設ける。また、吹出口1の近傍にはイオン発生装置10を設け、このイオン発生装置10を、吹出口1の側部に、イオン搬送ガスの流れ方向に直角に配置されたイオン化源11と、このイオン化源11によるイオン発生量を制御する制御装置12とから構成する。そして、イオン化源11から発生する軟X線等の放射線を、吹出口1内でイオン搬送ガスに照射してイオン化し、発生した正負イオンを、所望の帯電体に向けて供給する。

請求項（抜粋）：

吹出口の内部に1又は複数のイオン化源を設けると共に、吹出口の出口部近傍に遮蔽部を設け、前記吹出口内に供給されたイオン搬送ガスの一部をイオン化した後、前記遮蔽部を介してイオン搬送ガスを供給するように構成したことを特徴とする静電気対策用吹出口。

IPC (4件)：

H05F 3/06 ,  F24F 7/00 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/02

FI (5件)：

H05F 3/06 ,  F24F 7/00 B ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/02 D

Fターム (6件)：

3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BF06 ,  3L058BG03 ,  5G067AA70 ,  5G067DA24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• イオンガス発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-148010   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• 空気イオン化装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-190732   出願人：株式会社テクノ菱和
• 特公昭55-010820