モデルパラメータ抽出方法、回路シミュレーションシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小笠原史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-431177
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191301
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

【課題】素子が配置される位置による特性の相関をモデルパラメータに反映させたモデルパラメータ抽出手法および回路シミュレーションシステムを提供する。【解決手段】本発明のモデルパラメータ抽出方法は、対象としている複数個の装置からなる系内の各装置の相対的位置関係に依存した特性の相関関係を素子モデルの中に正確に組み込むことによって、より現実に近い特性の分布を計算する。これによって、回路シミュレータでは、回路特性の工程変動による分布等を予測する際に、予測精度を向上させ、試作回数の削減等により開発にかかる費用と時間を削減することができるようになり、すぐれた効果が得られる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の素子を対として測定された測定データからモデル式のパラメータを抽出するモデルパラメータ抽出方法であって、前記複数の素子を対として所定の特性データを測定するステップと、前記複数の素子の特性データからそれぞれのモデルパラメータを抽出するステップと、前記それぞれのモデルパラメータの標本値を用いて、それぞれのモデルパラメータにおける母集団の平均値および標準偏差を推定するステップと、前記それぞれのモデルパラメータの標本値を用いて、それぞれのモデルパラメータの母集団間に対する相関係数を推定するステップと、前記相関係数を主成分分析して主成分を求めるステップと、前記平均値、標準偏差、相関係数、および主成分を用いて、前記モデルパラメータの母集団の統計的分布を示すパラメータと、異なる素子の母集団間の相対的位置関係に依存する相関とを示すパラメータとで表した統計モデルを与える数式を得るステップとを含むことを特徴とする、モデルパラメータ抽出方法。

IPC (3件)：

H01L29/00 , G06F17/50 , H01L21/82

FI (3件)：

H01L29/00 , G06F17/50 662G , H01L21/82 T

Fターム (6件)：

5B046AA08 , 5B046BA03 , 5B046JA04 , 5F064HH06 , 5F064HH09 , 5F064HH10

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