特許

J-GLOBAL ID：200903067056718233

表面粗さ測定装置

発明者： 丸茂 千尋
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-277341
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087562
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【構成】 被測定物の表面粗さデータをその座標値と対応させて記憶する検出信号記憶手段50、及び検出信号記憶手段に記憶された表面粗さデータ及びその座標値に基づき、所望の評価領域の大きさでパラメータ値を求めるパラメータ演算表示手段52,54,58を備えた表面粗さ測定装置。【効果】 評価領域の大きさと粗さパラメータの相関を明確に把握することが可能となる。

請求項（抜粋）：

被測定物と相対移動してその被測定面の表面粗さを走査検出する表面粗さ検出手段と、被測定物が与えられた際に、その被測定面上の特定の点を基準点として、その基準点から所望一定範囲で前記表面粗さ検出手段を検出走査させるように、被測定物と表面粗さ検出手段の相対移動を制御する検出位置制御手段と、被測定物の表面粗さが得られる際に、被測定面の特定部位とその特定部位に対応する検出デ-タを対応付けて記憶する検出信号記憶手段と、対応付けられて前記記憶手段に記憶された表面粗さデ-タ及び部位の位置に基づき、前記表面粗さ検出手段の検出走査する全領域と同一もしくはそれより小さく設定された評価領域を、拡張又は/及び縮小し、それぞれの評価領域に対応する検出デ-タ及び必要に応じて該部位の位置の値を演算し、各評価領域毎のパラメ-タ値を算出して表示するパラメ-タ演算表示手段と、を備えたことを特徴とする表面粗さ測定装置。