特許
J-GLOBAL ID：200903067062451966
磁界センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 勝 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-345772
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171535
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 小型化が容易でGHz帯域の高周波磁界を高い空間分解能で検出し、電界による誘起電圧を抑制した磁界センサを提供する。【解決手段】 磁界センサ101は1層102、第2層103、第3層104からなる。第1層102は直線状導体パターン108をJ字状導体パターン106の最長の直線状導体107の中点に垂直に配した層である。第3層104は第1層102と同一の導体パターンを有する。第2層103は、第1層102及び第3層104の導体パターンの幅中心に沿って柄杓型導体パターンと、J字状導体パターン106の屈曲部と向かい合ってループ117を形成するようなL字状導体パターン111とを配した層である。L字状導体パターン111の一端は前記柄杓型導体パターンに繋がり、その他端116は第1層102及び第3層104のJ字導体パターン106の直線状導体107の端部114及び115に接続されている。
請求項（抜粋）：
第1層、第2層、第3層を層間に絶縁層を介して順次積層して構成された磁界センサであって、前記第1層は、J字状導体パターンと、該J字状導体パターンを形成する最長の直線状導体の中点より前記J字状導体パターンの屈曲部側とは反対の方向に前記最長の直線状導体に対して垂直に配置され、断面形状がほぼ直方形で一定幅の直線状導体パターンとを有し、前記第3層は前記第1層と同じ導体パターンを有し、前記第2層は、前記J字状導体パターンと前記直線状導体パターンとからなる前記第1層及び第3層の導体パターンの幅中心に沿うように配置された前記第1層及び第3層の導体パターンより細い一定幅の柄杓型導体パターンと、前記J字状導体パターンと向かい合ってループを形成するように配置された前記J字状導体パターンとほぼ同じ導体幅のL字状導体パターンとを有し、前記L字状導体パターンの一端が前記柄杓型導体パターンと繋がり、前記L字状導体パターンの他端が、前記第1層及び第3層のJ字状導体パターンの前記最長の直線状導体における前記屈曲部とは反対側の端部に接続されており、前記J字状導体パターンと前記L字状導体パターンの平面上への投影形状が前記直線状導体パターンの中心線に対して対称形となり、前記第2層の導体パターンと前記第1層及び第3層の導体パターンの間に接続された負荷に発生した電圧を検出し、磁界出力とすることを特徴とする磁界センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 33/02 B
, G01N 27/72
2G017AA01
, 2G017AB07
, 2G017AD03
, 2G017AD04
, 2G053AB01
, 2G053BC07
, 2G053CA18
, 2G053DB01
