特許
J-GLOBAL ID：200903067063864180
電子源及び画像形成装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-210305
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054027
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 複数の電子放出素子を有する電子源における各素子の均一性を高める。【解決手段】 一対の電極間に電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子74を複数形成してなる電子源71の製造方法において、通電により導電性膜の一部に高抵抗の部位よりなる電子放出部を形成する際に、電子放出部の形成を促進するガスを一部の電子放出素子に選択的に接触させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基体上に対向する一対の素子電極と、該素子電極に接続され、電子放出部を有する導電性膜を有してなる電子放出素子を、複数形成してなる電子源の製造方法であって、上記導電性膜を形成した後、上記一対の素子電極間に電圧を印加することにより該導電性膜に電流を流してその一部に高抵抗の部位よりなる電子放出部を形成する、フォーミング工程を有する、電子源の製造方法において、上記フォーミング工程が、上記複数の電子放出素子を複数のブロックに分け、上記高抵抗の部位の形成を促進するガスを上記電子放出素子のブロックから選択されたブロックに接触させながら該ブロックに属する上記電子放出素子の各素子電極間に電圧を印加して上記高抵抗の部位よりなる電子放出部を形成する処理を、繰り返してすべての電子放出素子に電子放出部を形成することを特徴とする、電子源の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 E
, H01J 31/12 C
