特許
J-GLOBAL ID：200903067064985267
電動ステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-181086
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027387
出願日： 1992年07月08日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、ヨーイングの発生を抑制し、透過照明に対応可能で、高分解能,省スペース化を図り得る電動ステージの提供にある。【構成】本発明の電動ステージは、移動範囲に応じた開口部27を有する第1のステージ12と、第1のステージ12の開口部27よりも外側に設けられた案内部17a,17b,25,26を介して第1のステージ12を所定方向へ移動自在に支持する第2のステージ11とを備えたものであり、駆動コイル31と磁石30との組合わせにより駆動力を発生させるリニアモータと、第1のステージ12の位置を検出するリニアエンコーダ32,33とを、案内部17a,17b,25,26の近傍に配設し、かつ磁石30の磁界発生面をステージ面に対し垂直に配置したものである。
請求項（抜粋）：
所定方向に移動可能に設けられた移動側ステージと、前記移動側ステージに設けられた案内部を介して前記移動側ステージを所定方向へ移動自在に支持する固定側ステージとを備えた電動ステージにおいて、駆動コイルと磁石との組合わせにより駆動力を発生させるリニアモータと、前記移動側ステージの位置を検出するリニアエンコーダとを、前記案内部の近傍に配設し、かつ前記磁石の磁界発生面をステージ面に対し垂直に配置したことを特徴とする電動ステージ。
引用特許：
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