特許
J-GLOBAL ID：200903067069420918
マスク保持フレームの支持構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-139857
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335204
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 大型のマスク保持フレームの傾き、撓みを防止するとともに、マスク保持フレームを固定する際、歪みが発生しないようにすること。【解決手段】 マスク保持フレーム1の角部A,B,Cに、ボールプランジャ3を取り付け、ベース2の表面に上記ボールプランジャ3が当接する3個のV溝体を設ける。また、ボールプランジャ3の近傍に設けられた貫通孔を固定ボルト4が貫通し、その一端はベース2のねじ孔8に取り付けられ、他端と上記マスク保持フレーム1間に圧縮ばね5が設けられている。さらに、上記マスク保持フレームの残りの角部Dと、ベース2との間に圧縮コイルばね13が設けられ、圧縮コイルばね13によりマスク保持フレーム1が傾いたり、撓んだりするのを防止する。また、マスク保持フレーム1の各角部に突起部を設け、該突起部にボールプランジャ3を取り付け、突起部を固定バンドで固定してもよい。
請求項（抜粋）：
マスクが固定される角型のマスク保持フレームと、該マスク保持フレームを支持する支持部材から構成され、上記マスク保持フレームの4つの角部の内の3つの角部には、上記マスク保持フレーム表面に直交する方向に変位可能な3個の支持軸が設けられ、上記支持部材の表面の上記3個の支持軸とそれぞれ対偶する位置には3個のV溝体が設けられ、上記マスク保持フレームの上記支持軸の近傍にはそれぞれ貫通孔が設けられており、上記貫通孔には、固定ボルトが貫通し、該固定ボルトの一端は上記支持部材に設けられたねじ孔に取り付けられ、固定ボルトの他端と上記マスク保持フレーム間に第1の弾性部材が設けられ、該弾性部材によりマスク保持フレームは上記支持部材側に付勢されており、さらに、上記マスク保持フレームの残りの角部と、上記支持部材との間には、マスク保持フレームを上記支持部材の反対側に付勢する第2の弾性部材が設けられていることを特徴とするマスク保持フレームの支持構造。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 509
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 503 D
