特許

J-GLOBAL ID：200903067073477380

駆動装置

発明者： 中原 仁 ,  市川 昌和 ,  田中 唯真 ,  斉藤 栄 ,  森山 茂夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087108
公開番号（公開出願番号）：特開平6-303782
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 高速から低速まで任意の速度でステージを駆動し且つサブミクロンの精度でステージの位置を制御することが可能な駆動装置を提供する。【構成】 被駆動体4を接触駆動する駆動端部3と、前記駆動端部に固着されており前記被駆動体と前記駆動端部の接触点における法線と駆動を行う方向を含む面内にそれぞれ異なる変位方向を持つ圧電体1と圧電体2とからなる圧電体対を有し、前記圧電体1或いは圧電体2のうち前記接触点における法線と該圧電体の変位方向とのなす角のうち小さい方をθとしたときに、全ての圧電体に電圧を印加していない状態で前記駆動端面と前記被駆動体の被駆動面との間に前記法線と変位方向とのなす角が小さい方の圧電体の最大伸び量の概ね (cosθ)/2 の間隙を有するように該圧電体対の駆動端面とは他方の端部をベース5上に固定することで構成される。【効果】 粗動・微動機構を一つの機構ですませることができ、高精度位置決め機構を小型且つ安価に構成することが可能になる。

請求項（抜粋）：

圧電体を用いて被駆動体4を接触駆動する駆動装置に於て、該被駆動体を接触駆動する駆動端部3と、前記駆動端部に固着されており前記被駆動体と前記駆動端部の接触点における法線と駆動を行う方向を含む面内にそれぞれ異なる変位方向を持つ圧電体1と圧電体2とからなる圧電体対を有し、前記圧電体1或いは圧電体2のうち前記接触点における法線と該圧電体の変位方向とのなす角のうち小さい方をθとしたときに、全ての圧電体に電圧を印加していない状態で前記駆動端面と前記被駆動体の被駆動面との間に前記法線と変位方向とのなす角が小さい方の圧電体の最大伸び量の概ね (cosθ)/2 の間隙を有するように該圧電体対の駆動端面とは他方の端部をベース5上に固定し、前記圧電体対の剛性で定まる共振周波数以下の周期を持つ駆動電圧を前記圧電体に印加することを特徴とする駆動装置。