特許
J-GLOBAL ID：200903067077379340
振動絶縁方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守谷 一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-187676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033828
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 酸化物超電体を用いて基台からの振動を絶縁する。【構成】 床面6に固定され、上面にMPMG法により製作したY系の酸化物超電導物質よりなる複数個のバルク材4を固設した基台3と、下面にバルク材4と対向する位置に複数個の磁石2を固設した機器搭載台1とをスペーサを介し所定の間隔に維持して前記バルク材に磁束を侵入させ、次いで容器7の内部に液体窒素10を供給してバルク材4を冷却した後、スペーサを除去して機器搭載台1を基台3から浮上させる。機器搭載台1は磁石2とバルク材4の反発力により浮上し、完全な非接触型の振動絶縁方法が得られる。
請求項（抜粋）：
基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定盤との間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置の振動を絶縁する方法において、前記基台または前記定盤のいずれか一方の対向面に複数個の磁石を固設するとともに、他方の対向面の前記磁石と対向する位置に酸化物超電導物質よりなるバルク材を固設し、前記基台と前記定盤とをスペーサを介し所定の間隔に維持して前記バルク材に磁束を侵入させた後、前記バルク材を液体窒素温度以下に冷却し、次いで前記スペーサを除去することを特徴とする振動絶縁方法。
IPC (2件)：
F16F 15/03
, H01L 39/00 ZAA
