ワーク破損検出装置を備えたラップ盤

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小林茂雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-281028
公開番号（公開出願番号）：特開2002-096259
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、ラップ加工中の薄板円盤状ワークの破損を確実、早急に検知することができ、構造簡単で、低コストのワーク破損検出装置を備えたラップ盤を提供することである。【構成】半導体ウエハ等の薄板円盤状ワークWの両面を一対のラップ定盤によりラップ加工するラップ盤であり、ワークWをその周縁部によりワークガイド部材52a,b,cにより回転自在に支持し、ワークガイド部材52a及び52cに振動センサ53a,53cを設け、ワーク駆動ローラ73によりワークWを回転させ、回転しているワーク周縁部の少なくとも1筒所に形成された切欠きWnがワークガイド部材52a,及び52cを通過する頻度を振動センサにより検出し、その信号をカウンタによりカウントすることによりワークの実回転速度を算出し、ワーク駆動ローラ73の回転信号をカウントすることにより算出される指令回転速度と比較して、その差が所定以上となったとき、ワーク破損検出ユニット56から制御装置57へ信号を出して、ラップ盤の非常停止等を行う。

請求項（抜粋）：

薄板円盤状ワークの両面を一対のラップ定盤によりラップ加工するラップ盤において、回転しているワーク周縁部の少なくとも1筒所に形成された切欠きが所定の角度位置を通過する頻度を検出する切欠き通過検出手段と、該切欠き通過検出手段の信号に基づいてワークの破損を検出するワーク破損検出手段とを設けたことを特徴とするワーク破損検出装置を備えたラップ盤。

IPC (4件)：

B24B 37/04 , B23Q 17/09 , B24B 49/08 , H01L 21/304 621

FI (5件)：

B24B 37/04 F , B24B 37/04 Z , B23Q 17/09 A , B24B 49/08 , H01L 21/304 621 A

Fターム (16件)：

3C029CC01 , 3C034AA08 , 3C034AA13 , 3C034BB71 , 3C034BB94 , 3C034CA24 , 3C034CB13 , 3C058AB01 , 3C058AB04 , 3C058AB06 , 3C058AC02 , 3C058AC03 , 3C058BA01 , 3C058BA05 , 3C058CB06 , 3C058DA18

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