特許

J-GLOBAL ID：200903067096127890

真空装置

発明者： 福永 徳人 ,  川島 和保 ,  佐藤 明 ,  上田 奈美
出願人/特許権者： 株式会社イーアールシー
代理人 (3件)： 細井 貞行 ,  長南 満輝男 ,  石渡 英房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-315522
公開番号（公開出願番号）：特開2004-150329
出願日： 2002年10月30日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】比較的短時間でもって目的とする低い真空度に到達することが可能な真空装置を提供すること。【解決手段】複数個のポンプヘッドH1〜H4を備えた真空ポンプを用い、各ポンプヘッド同士を切換弁V1〜V6を介して接続せしめ、これらの切換弁を切り換えることにより複数個のポンプヘッド同士を並列に接続する排気経路と直列に接続する排気経路とに切り換えられるように構成してなる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数個のポンプヘッドを備えた真空ポンプを用い、前記各ポンプヘッド同士を切換弁を介して接続せしめ、これらの切換弁を切り換えることにより前記複数個のポンプヘッド同士を並列に接続する排気経路と直列に接続する排気経路とに切り換えられるように構成してなることを特徴とする真空装置。

IPC (1件)：

F04B37/16

FI (1件)：

F04B37/16 D

Fターム (7件)：

3H076AA21 ,  3H076AA38 ,  3H076AA39 ,  3H076BB21 ,  3H076CC44 ,  3H076CC51 ,  3H076CC91