静電容量型圧力センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：志賀正武 , 棚井澄雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-317971
公開番号（公開出願番号）：特開2006-126127
出願日： 2004年11月01日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】高感度で遠心力等に伴う加速度の影響が少ない静電容量型圧力センサを提供する。【解決手段】ダイヤフラム3と、ダイヤフラム3との間にギャップを介して対向配置された固定電極とが備えられてなり、ダイヤフラム3上に少なくとも1以上の線状の梁部8a、8bが設けられていることを特徴とする静電容量型圧力センサ1を採用する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ダイヤフラムと、該ダイヤフラムとの間にギャップを介して対向配置された固定電極とが備えられてなり、前記ダイヤフラム上に少なくとも1以上の線状の梁部が前記ダイヤフラムを囲む外周部と離間して設けられていることを特徴とする静電容量型圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L9/00 305A , H01L29/84 Z

Fターム (22件)：

2F055AA12 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE25 , 2F055FF23 , 2F055GG15 , 4M112AA01 , 4M112BA07 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA05 , 4M112CA11 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112EA18 , 4M112FA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

圧力センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-024736 出願人：オムロン株式会社

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