特許
J-GLOBAL ID:200903067109867090
レイアウト方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-118124
公開番号(公開出願番号):特開平6-332982
出願日: 1993年05月20日
公開日(公表日): 1994年12月02日
要約:
【要約】【目的】 本発明の目的は、既存のレイアウトパターンデータを利用して、レイアウトルール変更に応じた新たなレイアウトパターンを形成する場合において、コンタクト数の変更を可能とする。【構成】 コンタクト抽出領域のサイズを、レイアウトルールに違反しない範囲で、且つ、指定された数のコンタクトを配置可能な大きさに調整し、そこへ上記指定された数のコンタクトを再配置することにより、あるいは、コンタクト抽出領域のサイズを、レイアウトルールに違反しない範囲で拡大し、そこへ可能な限り多くのコンタクトを再配置することにより、コンタクト数の変更を可能とする。
請求項(抜粋):
既存のレイアウトパターンデータを利用してレイアウトルール変更に応じたレイアウトパターンを形成するためのレイアウト方法において、既存のレイアウトパターンデータから、それに含まれるコンタクトを抽出する第1ステップと、このコンタクト抽出領域のサイズを、レイアウトルールに違反しない範囲で、且つ、指定された数のコンタクトを配置可能な大きさに調整する第2ステップと、この調整された領域に、上記指定された数のコンタクトを再配置する第3ステップとを含むことを特徴とするレイアウト方法。
IPC (2件):
G06F 15/60 370
, H01L 21/82
前のページに戻る