特許
J-GLOBAL ID：200903067111178537
電子スピン分析器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-133700
公開番号（公開出願番号）：特開2001-319611
出願日： 2000年05月02日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：
【要約】【課題】 装置を小型化した場合においても、散乱電子を効率よく検出することのできる電子スピン分析器を提供する。【解決手段】 内側加速電極3の内側導入口15の開口径を外側加速電極2の外側導入口14よりも、好ましくは開口角で0.1〜5度大きくする。そして、内側加速電極3の内側開口部7の開口径を外側加速電極2の外側開口部8の開口径よりも、好ましくは開口角で0.1〜5度大きくする。また、散乱電子検出部4に補正電極9を設ける。さらに、散乱電子検出部4を散乱電子部分が最大となる、入射電子線方向に対して100〜140度の位置に配置する。
請求項（抜粋）：
電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を、前記電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくしたことを特徴とする、電子スピン分析器。
IPC (3件)：
H01J 37/244
, G01N 23/20
, H01J 37/26
H01J 37/244
, G01N 23/20
, H01J 37/26
2G001AA03
, 2G001BA14
, 2G001CA03
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001DA10
, 5C033NN10
, 5C033SS01
, 5C033SS10
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-112813
出願人：株式会社日立製作所
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スピン検出器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-029098
出願人：株式会社日立製作所
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蛍光検出型モット検出器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-010807
出願人：科学技術振興事業団
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