特許
J-GLOBAL ID：200903067118073587
電子ビーム露光装置及び露光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-175552
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020932
出願日： 1992年07月02日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明はステージ連続移動方式で露光する電子ビーム露光装置及び露光方法に関し、より微細なパターンの露光ができ、且つ、位置合わせ精度の向上を実現できることを目的とする。【構成】 照射中心軸6と直交する面上の照射中心軸6に対して対称位置に配置した2個の磁界検出器が、一組の磁界検出器を構成する。磁界検出手段1は、この磁界検出器の組を複数組有し、ステージ35、及びウェハーWに流れる渦電流により発生する磁界を検出する。中心磁界算出手段2は、磁界検出手段1よりの信号に基づいて、照射中心O付近の磁界を算出する。補正信号生成手段3は、中心磁界検出手段2よりの信号に基づいて、電子ビーム偏向補正信号を生成する。ビーム偏向手段4は、電子ビーム偏向補正信号を供給されて、電子ビーム5の偏向補正を行う。
請求項（抜粋）：
対物レンズ(32)の中にステージ(35)を配置し、ステージ連続移動方式でステージ(35)上のウェハー(W)に露光を行う電子ビーム露光装置であって、照射中心軸(6)と直交する面上に該照射中心軸(6)に対して対称位置に配置した2個の磁界検出器(USX;USY)からなる一組の磁界検出器(USX;USY)を、少なくとも二組以上有し、上記ステージ(35)の移動時に、該ステージ(35)、及び該ウェハー(W)に流れる渦電流により発生する磁界を検出し、該検出磁界に比例した磁界信号を出力する磁界検出手段(1)と、該磁界検出手段(1)が出力する該磁界信号を平均化して、照射中心(O)付近の磁界を算出し、中心磁界信号を出力する中心磁界算出手段(2)と、該中心磁界算出手段(2)が出力する中心磁界信号に基づいて、電子ビーム偏向補正信号を生成する補正信号生成手段(3)と、該電子ビーム偏向補正信号を供給されて、電子ビーム(5)の偏向補正を行うビーム偏向手段(4)とを有する構成としたことを特徴とする電子ビーム露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
