特許

J-GLOBAL ID：200903067119080200

光音響信号検出方法およびその装置

発明者： 中田 俊彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-152955
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001988
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

(57)【目的】励起光の強度変調周波数によらず常に検出感度が一定で、試料の表面及び内部情報の安定検出と定量的解析を可能とする光音響信号検出方法を提供することにある。【構成】光音響検出信号の検出感度が各変調周波数に対して一定となるように、強度変調した励起光85(92)の強度Ieを各変調周波数fLに応じて補正することにより、検出感度の変調周波数特性を実効的に一定にする。【効果】励起光の強度変調周波数によらず常に光音響信号の検出感度が一定となるため、変調周波数を変えて検出した試料の様々な深さの内部情報の定量的解析が可能になる。また、共焦点光学系の採用により、光音響信号の横方向分解能が向上する。

請求項（抜粋）：

光源からの光を所望の周波数で強度変調し、強度変調した光を試料上に集光し、試料表面あるいは内部で光音響効果あるいは光熱効果を発生させ、光音響効果あるいは光熱効果によって生じた試料表面の熱歪を検出し、検出した検出信号の中から強度変調周波数の周波数成分を検出し、周波数成分より変調周波数に応じた試料の表面及び内部情報を抽出する光音響信号検出方法において、前記検出信号の検出感度が各変調周波数に対して一定となるように、各変調周波数に応じて検出感度を実効的に補正することを特徴とする光音響信号検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/00 ,  G01N 29/00 501

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-136638
  
• 特開平2-036338
  
• 特開昭64-084133