特許

J-GLOBAL ID：200903067119251845

半導体集積回路試験装置

発明者： 飯尾 真
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-360003
公開番号（公開出願番号）：特開2003-161766
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】 被測定対象に対して試験パターンを印加しているか否かに拘わらず、任意のタイミングで被測定対象の電源電流の周波数特性を測定することができる半導体集積回路試験装置を提供する。【解決手段】 パターン発生器18は被測定デバイス30に印加する試験パターンを発生し、試験パターンを発生している間はRSフリップフロップ19をセット状態にする。タイミング発生器16は、制御用処理装置10によって設定された任意のタイミングでRSフリップ17をセット状態にする。RSフリップフロップ17,19の出力端はOR回路20の入力端に接続され、OR回路20の出力端はAND回路22に接続されている。よって、任意のタイミングでサンプリングクロックCLK2をA/D変換器13に供給して電流検出回路12の検出信号S1をサンプリングすることができる。

請求項（抜粋）：

試験パターンを被測定対象に印加して、当該被測定対象の試験を行う半導体集積回路試験装置において、前記被測定対象の電源電流を検出する電源電流検出部と、供給されるサンプリングクロックのタイミングで前記電源電流検出部の検出結果をサンプリングするサンプリング部と、前記試験パターンの発生如何に拘わらず、任意のタイミングで前記サンプリングクロックを前記サンプリング部に供給する供給部と、前記サンプリング部でサンプリングされた信号に基づいて、前記電源電流の周波数特性を解析する解析部とを備えることを特徴とする半導体集積回路試験装置。

Fターム (7件)：

2G132AA00 ,  2G132AB01 ,  2G132AC03 ,  2G132AD04 ,  2G132AG02 ,  2G132AG08 ,  2G132AL00