特許
J-GLOBAL ID:200903067119446441

厚味モード圧電振動子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 均
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-270570
公開番号(公開出願番号):特開平9-093076
出願日: 1995年09月25日
公開日(公表日): 1997年04月04日
要約:
【要約】【課題】 電極の大きさを変えることなく、この圧電基板の周辺端部での振動変位の大きさを制御しようとする。【解決手段】 励振用電極に近接して周辺部との間に、周辺部の遮断周波数よりも高い遮断周波数を持った溝部を配したことを特徴とする厚味モード圧電振動子に於いて、電極の長さを 2a とし、溝の外側の長さを 2q とし、基準化溝幅μ を、 μ = (q-a)/a とし、電極部の遮断周波数をf1 とし、溝部の遮断周波数をf2 とし、周辺部の遮断周波数をf3 とし、基準化溝深さをνを、ν = (f2 -f3 ) /(f3 -f1 ) としたとき、 μ3 ν2 ≧ 10-7となるように構成した。
請求項(抜粋):
励振用電極に近接して周辺部との間に、周辺部の遮断周波数よりも高い遮断周波数を持った溝部を配したことを特徴とする厚味モード圧電振動子に於いて、電極の長さを 2a とし、溝の外側の長さを 2q とし、基準化溝幅 μ を、μ = (q-a)/aとし、電極部の遮断周波数をf1 とし、溝部の遮断周波数をf2 とし、周辺部の遮断周波数をf3 とし、基準化溝深さをνを、ν = (f2 -f3 ) /(f3 -f1 )としたとき、μ3 ν2 ≧ 10-7となるように構成したことを特徴とする厚味モード圧電振動子。

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