特許
J-GLOBAL ID：200903067123629291

透明板の表面凹凸検査方法および装置

発明者：
奥川 真也

奥川 真也 について


出願人/特許権者：
セントラル硝子株式会社

セントラル硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191167
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146554
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】本発明は、通常の光源とスクリーンを使用して透明基板の裏面反射を防ぎ正確に表面凹凸を検査する。【解決手段】透明板への光源の入射角を法線基準で86〜89度とし、あるいは、光源と透明板間に配設した偏光素子により、光源をP偏光又はS偏光として、法線基準で60〜89度の入射角として、透明板の裏面反射による影響をなくし、おもて面の反射によりスクリーンに投影された反射像を、直接目視、あるいは、該反射像をカメラで撮像したモニター画像により目視、あるいはまた、該カメラによって撮像された該反射像を濃淡信号として画像処理装置によって演算処理させることによって、透明板の表面凹凸を検査することができる。
請求項（抜粋）：
透明板の表面に所定の入射角を持って光源からの光を照射し、透明板の反射光をスクリーンに投影し、該スクリーンに投影された映像により透明板の表面凹凸を検査する方法において、透明板への入射角を法線基準で86〜89度として透明板の裏面反射を減少させ、表面の反射によりスクリーンに投影された反射像を直接目視、あるいは、該反射像をカメラで撮像したモニター画像により目視、あるいはまた、該カメラによって撮像された該反射像を濃淡信号として画像処理装置によって演算処理させることによって透明板の表面凹凸を検査することを特徴とする透明板の表面凹凸検査方法。
Fターム (33件)：
2F065AA47 ,  2F065AA49 ,  2F065AA50 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC21 ,  2F065DD12 ,  2F065FF04 ,  2F065FF49 ,  2F065FF61 ,  2F065GG03 ,  2F065GG12 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL49 ,  2F065MM24 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR07 ,  2F065SS13
引用特許：
審査官引用 (6件)
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