特許
J-GLOBAL ID：200903067130832566
セラミック製発熱体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-306543
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148332
出願日： 1996年11月18日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 セラミック製発熱体の高温化を図るとともに自己温度制御性能を得、しかもセラミックの割れを防ぎ、耐久性を向上し、コスト低減を図る。【解決手段】 窒化ケイ素質の成形体あるいは焼結体31に融点が2000°C以上である高融点金属11を巻付け、これらを窒化ケイ素質の成形体あるいは焼結体とほぼ同材質の窒化ケイ素質粉体30A中に埋設する。1650°Cないし1950°C間の温度と20MPa以上の圧力とでホットプレス焼成を行うことにより、窒化ケイ素質部分の相対密度が96%以上となる窒化ケイ素質焼結体30中に高融点金属11を埋設したセラミック製発熱体12を得る。
請求項（抜粋）：
窒化ケイ素質焼結体中に高融点金属を埋設することにより形成するセラミック製発熱体であって、窒化ケイ素質部分の相対密度が96%以上となる窒化ケイ素質焼結体中に、融点が2000°C以上である高融点金属コイルを埋設し、最高温度への到達時のセラミック製発熱体の最高発熱部の円周方向の最大温度差が(たとえば30°C以下というように)小さくなるように構成したことを特徴とするセラミック製発熱体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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