特許
J-GLOBAL ID：200903067136273763
光導波路デバイスの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-307040
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146241
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【構成】 光導波路パターンが形成された光導波路デバイスの製造方法において、同一形状同一寸法の複数の光導波路パターンが形成されたガラス基板2上に保護用ガラス膜1を積層させて光導波路積層板を作成し、この積層板を切り取り同様な複数の光導波路デバイス積層板3として光導波路デバイスを製造する方法を提供する。【効果】 本発明による光導波路デバイスの製造方法によれば複数の光導波路デバイスが各チップごとに組立てられるのではなく、同一積層板から同時に作製されるので工程が簡略化され工数の削減となり効率的な製造が可能となる。
請求項（抜粋）：
光導波路パターンが形成された光導波路デバイスの製造方法において、複数の光導波路パターンが堆積形成されたガラス基板上に保護用ガラス膜を積層させた光導波路積層板を作製し、該光導波路積層板から所定寸法の複数の光導波路積層板を切り出して光導波路デバイス用積層板として光導波路デバイスを製造することを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。
引用特許：
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