特許

J-GLOBAL ID：200903067138134310

液晶素子用ガラス基板の洗浄方法

発明者： 鈴木 正明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055985
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224167
出願日： 1992年02月07日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 ガラス単基板表面の無機物の汚れを効率よく除去し、又ウェット洗浄時間の短縮、純水の使用量を低減させた液晶素子用ガラス基板の洗浄方法を提供する。【構成】 液晶素子の製造工程におけるガラス単基板上のゴミを除去する洗浄方法において、純水を使用するウエット洗浄の直前に、ガラス単基板の表面に波長が184.9nmと253.7nmの紫外線を大気中にて照射する液晶素子用ガラス基板の洗浄方法。

請求項（抜粋）：

液晶素子の製造工程におけるガラス単基板上のゴミを除去する洗浄方法において、純水を使用するウエット洗浄の直前に、ガラス単基板の表面に波長が184.9nmと253.7nmの紫外線を大気中にて照射することを特徴とする液晶素子用ガラス基板の洗浄方法。

IPC (5件)：

G02F 1/13 101 ,  B08B 3/10 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 341 ,  H05K 3/26