特許

J-GLOBAL ID：200903067149315350

ガス濃度検知方法における検知ガス濃度領域調整方法

発明者： 田中 一成 ,  五十嵐 千秋 ,  定岡 芳彦
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-270290
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113450
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【目的】 テトラフェニルポルフィリン(TPP)を用いて、ハロゲンガス、ハロゲン化水素ガス、酸性ガス、酸化性ガス、塩基性ガス、有機酸ガス、特にハロゲンガスやハロゲン化水素ガスを有害成分として含有する混合ガスから有害成分の微量ガスを検知し、検量線を求めて定量するに際し、検量域の調整を可能にし、有害成分ガスを広い濃度範囲にわたって検知・定量すること。【解決手段】 検知材のマトリクスポリマ中のテトラフェニルポルフィリンの濃度を制御して検知材の感度を調整し、かつ測定波長を特定して、測定するガス濃度領域を制御すること。及び設定感度を調整した検知材を複数用いることにより、測定するガス濃度領域拡大すること。

請求項（抜粋）：

基板の表面に下記化学式(1)に示すテトラフェニルポルフィリンを含むマトリクスポリマを塗布してなる検知材に、光を照射した状態でハロゲンガス、ハロゲン化水素ガス、酸性ガス、酸化性ガス、塩基性ガス、有機酸ガスの内少なくとも1を含む混合ガスを接触させ、前記テトラフェニルポルフィリンに生じる色の変化を特定波長の透過光または反射光のスペクトル変化として測定して前記ガス濃度を測定するガス濃度検知方法において、前記マトリクスポリマ中のテトラフェニルポルフィリンの濃度を制御して前記検知材の感度を調整し、かつ特定波長光で測定することにより、測定するガス濃度領域を制御することを特徴とする検知ガス濃度領域調整方法。【化1】

IPC (4件)：

G01N 21/77 ,  G01N 21/78 ,  G01N 31/00 ,  G01N 31/22 121

FI (4件)：

G01N 21/77 A ,  G01N 21/78 Z ,  G01N 31/00 Q ,  G01N 31/22 121 A