特許
J-GLOBAL ID：200903067157295201
力センサー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253436
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122172
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 力を検出するセンサーに関するもので、従来の圧電共振型センサーの不要な共振モードが現れるという欠点を解決し、使用する共振周波数のピークを鋭く、高くし、誤動作がなく安定な力センサーの実現を目的とする。【構成】 加速度により移動可能な慣性体と、それを支持する支持梁と、支持梁上に設置された振動体を備え、振動体は振動体を励振する励振部と振動を伝搬する伝搬部と、振動状態を受信する受振部とよりなり、力が印加された際、振動体の変形により生じる振動状態の変化を、励振部への入力信号と受信部の出力信号により検出し、力を測定するものであり、励振部、受信部に圧電素子を用い、励振部及び受信部の長さを振動体の全長の0.2〜0.5倍に構成することにより、振動体の低次共振周波数のピークが明確に現れ、常に一定の共振モードを容易に保てるようになり、誤動作のない安定な力センサーが実現できる。
請求項（抜粋）：
力学量の作用により移動可能な慣性体と、慣性体を支持する支持梁と、前記支持梁上に設けられて両端を前記支持梁に固定された振動体と、前記振動体の一端部付近に接合されて前記振動体を励振する励振用圧電素子と、前記振動体の他端部付近に接合されて前記振動体の振動を受信する受信用圧電素子とを具備し、前記振動体の全長lと、前記励振用圧電素子の長さa及び前記受信用圧電素子の長さbとの間には、0.2 ≦ a/l < 0.5又は0.2 ≦ b/l < 0.5の関係があることを特徴とする力センサー。
IPC (3件)：
G01L 1/10
, G01C 19/56
, G01P 9/04
