特許
J-GLOBAL ID：200903067163249980
ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-027052
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234187
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板の表面に存在する10μm以下の微細な欠点を短時間のうちに確実に検出できる表面欠点検出方法およびその装置を提供する。【構成】 ガラス基板2に光照射装置5...から直線帯状の照明光4...を照射し、ガラス基板2の表面欠点11からの散乱光6を一次元カメラ7で捕らえることによりガラス基板2の表面欠点11を検出する方法において、その照明光4...の少なくとも一つの照射方向が、ガラス基板2と照明光4...の相対的移動方向とのなす角度で表して20 ゚〜90 ゚であることを特徴とする表面欠点検出方法。また、このとき光照射装置5...の少なくとも一つが、前記角度が20 ゚〜90 ゚になるように配されている表面欠点検出装置1を用いる。
請求項（抜粋）：
ガラス基板に直線帯状の照明光を照射し、ガラス基板の表面欠点からの散乱光を暗視野下で集光し、直線的に配列された一次元カメラにて電気信号に変換することにより、ガラス基板の表面欠点を検出する方法において、その直線帯状の照明光の少なくとも1つの照射方向が、ガラス基板と照明光の相対的移動方向とのなす角度で表して20 ゚〜90 ゚であることを特徴とするガラス基板の表面欠点検出方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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