特許
J-GLOBAL ID：200903067177088970
光学副集成部品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-235214
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174284
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【目的】安価な光学副集成部品を提供する。【構成】本発明の光学副集成部品は、各種光学部品を配置するための複数個の開口部を含むシリコン基板系サブマウントからなる。特に、シリコンウエハを常用の技術により加工し、個々のサブマウントを同時に多量に作り出す。各サブマウントは多数の開口部を含むように加工される。シリコン加工は、部品の能動心合わせが最小になるように、十分にコントロールすることができる。本発明は、シリコンサブマウントがレーザおよびアイソレータ光学部品の両方のための開口部を有するように作製される。開口部は取着された熱電冷却器(TEC)からシリコン基板を通る伝熱路にそって配置される。従って、レーザおよびアイソレータ光学部品は同じ動作温度に維持される。
請求項（抜粋）：
能動半導体光デバイス(40)、反射信号が前記能動半導体光デバイスに再入することを防止するための分離手段(44)、前記分離手段からの出力を結合光導波媒体に集束させるための、前記分離手段の背後に配置された第1のレンズ(36)、前記能動デバイスからの出力を前記分離手段の入力へ平行光線束にするための、前記能動デバイスと前記分離手段の間に配置された第2のレンズ(36)、および、前記分離手段および前記第1および第2のレンズを配置するための、シリコン基板上面に形成された複数個の開口部(12,20,22,30)を含むシリコン基板、複数個の開口部は前記分離手段および前記第1および第2のレンズの間で光学的心合わせを形成するために設けられている、からなる光学副集成部品。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
-
特願平3-191252
出願番号：特願平3-191252
-
特開昭63-140589
前のページに戻る
