特許
J-GLOBAL ID：200903067178354224
パターン検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-152695
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333169
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 被検査体のパターンに対して均一で高照度の光照射を行なうことができ,被検査体及び板状ライトガイドの熱損傷がなく,正確なパターン検査を行なうことができるパターン検査装置を提供すること。【構成】 被検査体96におけるパターンを光照射するための光照射装置1と,上記パターンを撮像するカメラ部2とを有するパターン検査装置10において,光源用の棒状ランプ11と,該棒状ランプ11の光を上記被検査体96に向けて導出するための板状ライトガイド12と,該板状ライトガイド12と上記棒状ランプ11との間に配置されたコールドフィルター13と,上記棒状ランプ11の後方に配置したコールドミラー14とを有する。
請求項（抜粋）：
被検査体におけるパターンを光照射するための光照射装置と,上記パターンを撮像するカメラ部とを有するパターン検査装置において,上記光照射装置は,光源用の棒状ランプと,該棒状ランプの光を上記被検査体に向けて導出するための板状ライトガイドと,該板状ライトガイドと上記棒状ランプとの間に配置されたコールドフィルターと,上記棒状ランプの後方に配置したコールドミラーとを有することを特徴とするパターン検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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