特許
J-GLOBAL ID：200903067180585586
液供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-275954
公開番号（公開出願番号）：特開平8-108125
出願日： 1994年10月13日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】処理対象に対して処理液を吐出する処理液吐出手段に処理液を供給する液供給装置において、処理液を無駄に捨てることなく、高品質の処理液を供給し得る液供給装置を提案する。【構成】プロセスの待ち時間の間に処理液吐出部11から所定量の処理液6を吐出し、この処理液6を密閉されたカツプ12を介して液タンク16に送出して循環させるようにしたことにより、処理液6を無駄に捨てることなく、高品質の処理液6を供給し得る液供給装置10を実現できる。
請求項（抜粋）：
処理対象に対して処理液を吐出する処理液吐出手段に上記処理液を供給する液供給装置において、上記処理液吐出手段が上記処理対象に対して上記処理液を吐出していないとき、上記処理液吐出手段が吐出する処理液を循環させて再び上記処理液吐出手段に与える循環手段を具えたことを特徴とする液供給装置。
IPC (4件)：
B05C 11/10
, B05C 11/08
, G03F 7/16 501
, H01L 21/304 341
