特許

J-GLOBAL ID：200903067181167095

反射防止膜形成用組成物

発明者： 河口 和雄 ,  島 基之 ,  杉本 健 ,  岩永 伸一郎
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-215765
公開番号（公開出願番号）：特開平11-043594
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】 反射防止効果が高く、かつインターミキシングを生じることが無く、エッチレートの高い、解像度及び精度等に優れたレジストパターンを形成しうる反射防止膜形成用組成物を提供する。【解決手段】 (a-1)カルボン酸およびカルボン酸無水物から選ばれる少なくとも1種と、(a-2)多価アルコールとを反応することにより得られる(A)アルキド樹脂と、(B)溶剤とを含有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(a-1)カルボン酸およびカルボン酸無水物から選ばれる少なくとも1種と、(a-2)多価アルコールとを反応することにより得られる(A)アルキド樹脂と、(B)溶剤とを含有することを特徴とする反射防止膜形成用組成物。

IPC (3件)：

C08L 67/02 ,  C09D 5/00 ,  C09D167/02

FI (3件)：

C08L 67/02 ,  C09D 5/00 M ,  C09D167/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 多層の薄膜を有する反射防止シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-167555   出願人：大日本印刷株式会社