特許
J-GLOBAL ID：200903067186153866
磁気偏光顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-315100
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167933
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】試料表面の磁化状態を、より高い分解能および高い感度で検出できる磁気偏光顕微鏡を提供する。【構成】表面の一部が磁性体からなるプローブ1と、試料2表面の磁化状態が転写された当該磁性体でのカー効果を測定する磁気光学効果測定手段100と、測定されたカー効果を示す微弱な信号を高いS/N比で検出するための測定補助手段200と、プローブ1と試料2との相対位置を変位させて、測定位置を変位させる走査手段300と、測定補助手段200が検出したカー効果を示す信号に基づいてプローブ1の磁化状態を算出して、その算出結果と、走査手段300により変位された測定位置とから、試料2表面における磁化状態を算出して表示する描画処理装置400を有する。
請求項（抜粋）：
試料の分析対象面に対して、予め定めた測定位置に保持される、少なくとも表面の一部が磁性体であるプローブと、当該対象面の表面磁界に影響されて変化する、プローブの磁性体の磁化状態に起因する磁気光学効果を測定する磁気光学効果測定手段と、測定された磁気光学効果に基づいて、当該分析対象面の磁化状態を算出する処理手段とを有し、磁気光学効果測定手段は、予め定めた偏光状態の光をプローブの磁性体へ照射する光照射装置と、当該磁性体で反射された光の偏光状態における変化を検出することで、磁気光学効果を測定する偏光状態変化測定装置と、照射された光の偏光状態を予め定めた周波数で変調し、さらに、測定された結果のうち、当該周波数と同じ成分だけを検出することにより、測定感度を高める測定補助装置とを有することを特徴とする磁気偏光顕微鏡。
IPC (5件)：
G01R 33/12
, G01N 21/21
, G01N 37/00
, G01R 33/032
, G02B 21/00
