形状検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182007
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026826
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】受光素子を用いた形状検査装置において、光量の変化を判定する手段を設けることによって光量の変化に対する光学系の調整を不要とし、かつ検査データの誤りをなくす。【構成】検査の際の製品の無い状態で取り込んだX(基本光量2)がP3 (補正必要基準値5)やP2 (ランプ交換表示基準値4)より高いか低いかを判定する。または同じように取り込んだ△Xi (取り込み光量の差1)が一定P1 (光量差補正必要基準値3)より大きいか小さいか判定する。これにより予め設定しておいた光量に応じた補正値または補正式により、演算・補正させデータの誤りを防ぐ。

請求項（抜粋）：

受光素子を用いる形状検査装置において、受光量の強弱を判定する基準値を持ち、その結果により受光量の強弱を均一化近似させるべく予め記憶させた補正値あるいは補正式を使い演算・補正させる手段を有することを特徴とする形状検査装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-142490
特開平2-133884
特開平1-276025

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