クリーンルーム用除電装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207957
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047488
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】クリーンルーム内の除電を効率よく行えることを可能とする。【構成】超純水を交流高電圧を印加した微小ノズル4から噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯電させてクリーンルームC内の空気に注入することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

超純水を交流高電圧を印加した微小ノズルから噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯電させてクリーンルーム内の空気に注入することを特徴とするクリーンルーム用除電装置。

IPC (2件)：

H05F 3/04 , H01T 23/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

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