特許
J-GLOBAL ID:200903067203366615
注入形電場発光デバイスとその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-183365
公開番号(公開出願番号):特開平11-031586
出願日: 1997年07月09日
公開日(公表日): 1999年02月02日
要約:
【要約】【課題】 輝度バラツキが小さく長寿命の素子をつくること。【解決手段】 移動式の蒸着ターゲットを有する連続蒸着装置内に、正孔注入用透明電極を形成したシート8がロール9にセットされ、そこから繰り出されロール11に巻取られる。電子注入用薄膜電極としてのMg含有金属合金薄膜の形成は、Mg金属を入れた蒸発源のボート16を加熱し、時間をかけてその蒸発速度をもう一つのMg用膜厚センサー18でモニターしながら精密に制御する。続いてボート15でAgを蒸発させ両者の蒸発速度を各々一定にした後同時蒸着によってMg含有金属合金薄膜をロール9,11を定速で回転させて連続蒸着をし、デバイスを得る。発光特性は、5V印加で2.3mA/cm2の電流が流れ、75cd/m2の高い輝度が得られた。寿命試験で輝度の半減時間は比較例に比べ2.5倍に延びた。
請求項(抜粋):
正孔注入用透明電極と電子注入用薄膜電極よりなる一対の電極間に、電子輸送性有機分子と正孔輸送性有機分子とを有する注入形電場発光デバイスであって、前記デバイスの前記電子輸送性有機分子よりなる電子輸送層と、CaまたはMg含有金属合金薄膜よりなる前記電子注入用薄膜電極との界面に、CaまたはMgの、窒化物、酸化物および水酸化物のいずれかを主成分とするCa化合物またはMg化合物が形成されるのを回避して、前記電子輸送性有機分子とCaまたはMg含有金属合金とが直接安定に接してなることを特徴とする注入形電場発光デバイス。
IPC (3件):
H05B 33/22
, H05B 33/10
, H05B 33/26
FI (3件):
H05B 33/22
, H05B 33/10
, H05B 33/26
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