特許
J-GLOBAL ID：200903067207686746
電子ビーム蒸着めっき方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-056369
公開番号（公開出願番号）：特開平5-214529
出願日： 1992年02月05日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、電子ビームによるめっき材蒸発又は昇華を変動なく高い効率で行ない、高品質のめっきを効率的に蒸着めっきする方法を提供することにある。【構成】 シャッタ5の開放時にはめっき材上面に対する電子ビーム照射の入射角度をシャッタ閉鎖時より垂直に近づけることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
るつぼ中のめっき材上面に、該るつぼ側部に設けた電子銃より電子ビームを照射し、該るつぼ上方の被めっき材に蒸着めっきを行なうこととし、めっき中断時には上記めっき材と被めっき材の間に、めっき材蒸気の上昇を遮断するシャッタを配置する電子ビーム蒸着めっき方法において、上記シャッタの開放時には上記めっき材上面に対する電子ビーム照射の入射角度を、シャッタの閉鎖時より垂直方向に近づけることを特徴とする電子ビーム蒸着めっき方法。
IPC (2件)：
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